故而,ASML计划年底前发表首台商用 High-NA (NA=0.55) EUV 微影光刻设备 (原型制作),2025 年量产出货。2025 年开始,客户就能从数值孔径为 0.33 传统 EUV 多重图案化,切换到数值孔径为 0.55 High-NA EUV 单一图案化,降低制程成本,提高产量。
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